ใช้ในกระบวนการเคลือบวัสดุเพื่อเพิ่มความทนทานต่อความร้อนและความต้านทานต่อการกัดกร่อน โดยเฉพาะในอุตสาหกรรมเซรามิกส์และวัสดุทนไฟ เนื่องจากสามารถสร้างฟิล์มบางที่มีความเสถียรภาพสูงเมื่อถูกความร้อน นิยมใช้เป็นตัวตั้งต้นในการสังเคราะห์นาโนพาวเดอร์ของซิลิคอนคาร์ไบด์และเซรามิกส์ขั้นสูง นอกจากนี้ยังใช้เป็นตัวเร่งปฏิกิริยาในบางกระบวนการสังเคราะห์อินทรีย์ โดยเฉพาะที่ต้องการสภาพแวดล้อมที่ไม่มีน้ำ และมีบทบาทในการผลิตวัสดุออปติคัลและอิเล็กทรอนิกส์ที่ต้องการคุณสมบัติทางเคมีเฉพาะตัว