ใช้อย่างแพร่หลายในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์เป็นฐานสำหรับวงจรฟิล์มบางและอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ เนื่องจากมีฉนวนไฟฟ้าที่ยอดเยี่ยมและการนำความร้อนที่ดี ทำหน้าที่เป็นวัสดุฐานสำหรับการผลิตเซ็นเซอร์ ตัวต้านทาน และตัวเก็บประจุ ในสาขาแสงศาสตร์ ใช้เป็นชั้นเคลือบสะท้อนและในการผลิตส่วนประกอบเลเซอร์ เนื่องจากความทนทานสูงและความต้านทานต่อการสึกหรอ นอกจากนี้ ยังใช้ในงานที่อุณหภูมิสูง เช่น เสื้อบุเตาเผาและหม้อหลอม เนื่องจากสามารถทนความร้อนสุดขีดโดยไม่เสื่อมสภาพ ความเข้ากันได้ทางชีวภาพยังทำให้เหมาะสำหรับการฝังในทางการแพทย์และการใช้งานทางทันตกรรม