ใช้เป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์สารเคมีอินทรีย์ โดยเฉพาะในกระบวนการป้องกันกลุ่มไฮดรอกซิล (hydroxyl protection) ในโมเลกุลของสารประกอบอินทรีย์ เนื่องจากมีกลุ่มไตรเมทิลซิลิล (trimethylsilyl) ที่สามารถป้องกันกลุ่มไฮดรอกซิลได้อย่างมีประสิทธิภาพ นอกจากนี้ยังใช้ในอุตสาหกรรมผลิตสารเคลือบผิวและวัสดุคอมโพสิต เพื่อปรับปรุงคุณสมบัติทางกายภาพและเคมีของวัสดุ เช่น การเพิ่มความทนทานต่อความชื้นและสารเคมี อีกทั้งยังใช้ในกระบวนการผลิตสารเร่งปฏิกิริยา (catalyst) และสารช่วยในกระบวนการทางเคมีต่าง ๆ เพื่อเพิ่มประสิทธิภาพของปฏิกิริยา