ใช้เป็นสารซิลิเลติง (silylating agent) ในการสังเคราะห์สารอินทรีย์ โดยเฉพาะสำหรับการป้องกันหมู่ฟังก์ชันที่อ่อนไหว เช่น แอลกอฮอล์และอะมีน ระหว่างปฏิกิริยาหลายขั้นตอน ขนาดโมเลกุลที่ใหญ่ (steric bulk) ช่วยเพิ่มความเลือกสรร (selectivity) ทำให้มีคุณค่าในการสังเคราะห์โมเลกุลซับซ้อน รวมถึงยาและผลิตภัณฑ์จากธรรมชาติ นิยมใช้ในการเตรียมสารกลางสำหรับสารเคมีเกษตร และในการปรับเปลี่ยนพื้นผิวซิลิคอนในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เนื่องจากสามารถก่อตัวเป็นชั้นโมโนเลเยอร์ที่เสถียร นอกจากนี้ยังใช้ในเคมีวิเคราะห์สำหรับการดิริวาทิไวซ์ (derivatizing) สารประกอบขั้วเพื่อเพิ่มความผันผวนและการตรวจจับในก๊าซโครมาโทกราฟี-สเปกโตรเมตรีมวล (GC-MS)