ใช้ในกระบวนการเคลือบวัสดุเพื่อเพิ่มความต้านทานต่อความร้อนและความชื้น เหมาะสำหรับการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่ต้องการความทนทานสูง นิยมใช้เป็นตัวทำละลายในกระบวนการสังเคราะห์วัสดุเซรามิกส์ขั้นสูง และสามารถนำไปใช้เป็นตัวเร่งปฏิกิริยาในปฏิกิริยาเคมีบางประเภท โดยเฉพาะในกระบวนการออกซิเดชัน นอกจากนี้ยังมีการนำมาใช้ในงานวิจัยด้านนาโนเทคโนโลยีเพื่อสร้างอนุภาคนาโนของสารประกอบเซรามิกส์ที่มีคุณสมบัติพิเศษด้านแม่เหล็กและออปติกส์