ใช้ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์เป็นวัสดุตั้งต้นในการผลิตสารประกอบซิลิคอนที่มีความบริสุทธิ์สูง นิยมนำมาใช้เป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์วัสดุฟิล์มบางสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์และไดโอดเปล่งแสง นอกจากนี้ยังใช้เป็นตัวทำละลายหรือตัวกลางในปฏิกิริยาเคมีที่ต้องการสภาพแวดล้อมที่ไม่ทำปฏิกิริยาง่าย เนื่องจากมีความเสถียรต่อความร้อนและแสง จึงเหมาะสำหรับการใช้งานในสภาวะที่รุนแรง