ใช้เป็นสารตั้งต้นหรือตัวกลางในการสังเคราะห์สารซิลิโคนโมเลกุลเฉพาะที่มีคุณสมบัติพิเศษ โดยเฉพาะในอุตสาหกรรมวัสดุเคลือบผิวและสารเคลือบที่ต้องการความคงตัวสูงต่ออุณหภูมิและความชื้น นิยมนำมาใช้ในสูตรสารเคลือบอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์เพื่อป้องกันความเสียหายจากสิ่งแวดล้อม เนื่องจากให้ฟิล์มเคลือบที่มีความทนทานและยืดหยุ่นดี นอกจากนี้ยังใช้ในงานวิจัยและพัฒนาผลิตภัณฑ์ที่ต้องการโครงสร้างซิลิโคนที่มีหมู่คลอไรด์และเบนซ์ไฮดริลเป็นหมู่ฟังก์ชัน เพื่อปรับปรุงการยึดติดกับพื้นผิวต่าง ๆ