ใช้ในอุตสาหกรรมเคมีเป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์สารซิลิโคนและโพลีเมอร์ที่มีโครงสร้างซิลิคอน-คาร์บอน นิยมใช้ในกระบวนการผลิตวัสดุเคลือบผิว เนื่องจากช่วยเพิ่มความทนทานต่อความร้อนและความชื้น มีการนำไปใช้ในห้องปฏิบัติการวิจัยเพื่อสร้างสารประกอบอนินทรีย์ที่มีความซับซ้อน โดยเฉพาะในงานที่เกี่ยวข้องกับการพัฒนาสารใหม่สำหรับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ นอกจากนี้ยังสามารถใช้เป็นตัวทำละลายหรือตัวเร่งปฏิกิริยาในบางกระบวนการเคมีที่ต้องการความบริสุทธิ์สูง