ใช้อย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์สำหรับการผลิตตัวเก็บประจุประสิทธิภาพสูง เนื่องจากมีค่าคงที่ไดอิเล็กทริกสูงและความเสถียรทางความร้อนที่ดี พบในโทรศัพท์มือถือ คอมพิวเตอร์ และอุปกรณ์ทางการแพทย์ที่ต้องการส่วนประกอบที่เชื่อถือได้ ขนาดกะทัดรัด และมีประสิทธิภาพ ใช้เป็นฉนวนไดอิเล็กทริกแบบฟิล์มบางในวงจรรวมและอุปกรณ์หน่วยความจำแบบสุ่มเข้าถึงแบบไดนามิก (DRAM) นอกจากนี้ยังใช้ในเคลือบผิวทางแสงสำหรับเลนส์และกระจกเนื่องจากมีดัชนีหักเหสูงและการดูดซับแสงต่ำ ทำให้เหมาะสำหรับเคลือบกันสะท้อน แยกลำแสง และตัวกรองการแทรกแซง ใช้ในการพัฒนาแคทาลิสต์ขั้นสูงและในเคลือบกันการกัดกร่อนสำหรับอุปกรณ์อุตสาหกรรม กำลังถูกศึกษาสำหรับการใช้ในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์รุ่นถัดไปและเมมริสเตอร์สำหรับการประมวลผลแบบนิวโรมอร์ฟิก