ใช้เป็นตัวทำละลายในกระบวนการผลิตสารเคมีต่าง ๆ โดยเฉพาะในระบบปฏิกิริยาที่ต้องการสื่อกลางที่มีขั้วต่ำถึงปานกลาง นิยมใช้ในอุตสาหกรรมยาและสารอินทรีย์ฟอสฟอรัส เนื่องจากมีความเสถียรและไม่ทำปฏิกิริยาข้างเคียงมาก ยังใช้เป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์ฟอสเฟตเอสเทอร์อื่น ๆ ที่ใช้ในอุตสาหกรรมเกษตรกรรม เช่น ยาฆ่าแมลงบางชนิด นอกจากนี้ยังมีการนำไปใช้ในสูตรของสารดับเพลิงและสารเคลือบผิวเพื่อเพิ่มคุณสมบัติทนความร้อนและไฟ