ใช้ในอุตสาหกรรมเคมีเป็นสารตั้งต้นสำหรับสังเคราะห์สารซิลิโคนที่มีโครงสร้างเฉพาะ โดยเฉพาะในกระบวนการผลิตโพลีเมอร์ที่ต้องการคุณสมบัติทนต่อความร้อนและความชื้นสูง นิยมนำไปใช้ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์เพื่อทำสารเคลือบป้องกันชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ เนื่องจากสามารถสร้างฟิล์มบางที่มีความทนทานและกันน้ำได้ดี นอกจากนี้ยังใช้เป็นตัวเชื่อม (coupling agent) ในระบบวัสดุคอมโพสิต เพื่อเพิ่มการยึดติดระหว่างพื้นผิวของวัสดุอนินทรีย์กับอินทรีย์ เช่น แก้วกับเรซิน ทำให้วัสดุมีความแข็งแรงและทนต่อสภาพแวดล้อมมากขึ้น