ใช้เป็นตัวเรย์เอเจนต์ในการสังเคราะห์อินทรีย์เพื่อนำเสนอหมู่คาร์บาเมตและยูเรียที่ได้รับการป้องกัน โดยทำปฏิกิริยากับหมู่ไฮดรอกซิลเพื่อเกิด O-(ไตรเมทิลซิลิล)คาร์บาเมต และกับหมู่อะมีนเพื่อเกิด N-(ไตรเมทิลซิลิล)ยูเรีย ซึ่งคงทนภายใต้สภาวะเบสและกลาง แต่สามารถกำจัดได้ภายใต้สภาวะกรดอ่อนหรือการไฮโดรไลซิสโดยไม่กระทบโครงสร้างหลักของโมเลกุล ความเลือกเฉพาะนี้ทำให้มีคุณค่าต่อการสังเคราะห์หลายขั้นตอน โดยเฉพาะในอุตสาหกรรมเภสัชกรรมและเกษตรเคมีสำหรับเตรียมสารกลางที่ซับซ้อน

นอกจากนี้ ยังใช้ในการเตรียมอนุพันธ์ไอโซไซยานูเรตและสารกลางที่ได้รับการซิลิเลต ซึ่งนำไปใช้ในการผลิตโพลิเมอร์พิเศษและวัสดุฐานซิลิคอน เนื่องจากความไวต่อความชื้นและปฏิกิริยาสูง จึงต้องจัดการภายใต้สภาวะไร้น้ำในบรรยากาศเฉื่อย