ใช้เป็นสารเคมีสำหรับปกป้องด้วยกลุ่มซิลิล (silyl protecting group reagent) ในการสังเคราะห์อินทรีย์ โดยเฉพาะในการปรับเปลี่ยนและทำให้สารประกอบฟีนอลคงตัว มันช่วยในการปกป้องหมู่ไฮดรอกซิลอย่างเลือกสรรระหว่างปฏิกิริยาหลายขั้นตอน ซึ่งช่วยปรับปรุงผลผลิตและลดปฏิกิริยาเสริม นิยมใช้ในการสังเคราะห์ผลิตภัณฑ์จากธรรมชาติที่ซับซ้อนและยา ที่ต้องการการถอดปกป้องที่ควบคุมได้ กลุ่ม trimethylsilyl ของมันช่วยเพิ่มความเหินไหล ทำให้มีประโยชน์ในการ derivatization สำหรับการวิเคราะห์ด้วยก๊าซโครมาโทกราฟี-สเปกโตรเมตรีมวล (GC-MS) ของฟีนอล นอกจากนี้ยังใช้ในการเตรียมสารกลางที่ถูกซิลิเลตสำหรับการสังเคราะห์โพลิเมอร์ฐานซิลิโคน