ใช้เป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์วัสดุเซรามิกส์ที่มีคุณสมบัติเป็นฉนวนไฟฟ้าสูง โดยเฉพาะในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์สำหรับผลิตตัวเก็บประจุที่มีความจุสูงและเสถียรภาพดี

นิยมใช้ในกระบวนการเคลือบผิวด้วยเทคนิคโซล-เจล (sol-gel) เพื่อสร้างฟิล์มบางของทันทาลัมออกไซด์ที่มีความบริสุทธิ์สูง ซึ่งนำไปใช้ในอุปกรณ์ออปติคัลและอิเล็กทรอนิกส์

สามารถนำไปใช้ร่วมกับกระบวนการ CVD (Chemical Vapor Deposition) เพื่อสร้างชั้นบางของออกไซด์ทันทาลัมบนพื้นผิวต่าง ๆ ที่ต้องการความทนทานต่อการกัดกร่อนและคุณสมบัติทางไฟฟ้าที่แม่นยำ

นอกจากนี้ยังมีการใช้ในงานวิจัยด้านวัสดุนาโนเพื่อพัฒนาอนุภาคนาโนที่มีคุณสมบัติพิเศษสำหรับการใช้งานในเซนเซอร์หรืออุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ขั้นสูง